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中文：粗糙度干涉显微镜；英文：roughness inter-ference microscope

关键词
解释
中文：粗糙度干涉显微镜；英文：roughness inter-ference microscope的原理；中文：粗糙度干涉显微镜；英文：roughness inter-ference microscope的定义；中文：粗糙度干涉显微镜；英文：roughness inter-ference microscope是什么。
 用于测量零件表面粗糙度的干涉显微镜。其表面粗糙度的测量范围在纳米量级。
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