SCMOS相机 光束分析仪 DMD 光纤束 合束激光器 共焦 拉曼光谱仪 锁相放大器 无掩膜光刻机 高光谱相机
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摘要 超快激光具有能量密度高,方向性强,相干性高等特点,飞秒激光微纳加工在复杂的三维微纳功能器件的加工领域具有独特的优势。目前传统的激光微纳加工技术均为逐点扫描的加工方式,加工效率无法满足实际生产的高效率需求。基于空间光调制器的计算全息技术可以实现灵活可控的光场分布,飞秒激光可以被精确的调制成预设的多焦点图案阵列,从而实现高效的并行加工,可以大大的提高加工效率。同时利用空间光调制器可以方便的生成贝塞尔光束,可以实现微环形结构的单次曝光式加工。关键词 空间光调制器 超快激光微纳加工 微纳加工 激光加工介绍: 空间光调制器(SLM)可以将信息加载到二维光学数据场中,是一种对光束进行调整 ...
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