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扫描电子显微镜及配件

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阴极发光仪

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全自动阴极发光仪,稳定性高,成像效果好

所属类别:材料分析设备 » 扫描电子显微镜及配件

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产品负责人:

姓名:谷工(Givin)

电话:185 1625 1863(微信同号)

邮箱:zonghao-gu@auniontech.com


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阴极发光仪

昊量光电新推出用于微电子、半导体、绝缘材料、地质学和矿物学材料测量的法国NewTec阴极射线显微镜。阴极发光是一种光谱方法,它可以在局部尺度上识别缺陷和杂质,这些缺陷和杂质与被电子枪轰击的材料的发光特性有关。


阴极射线显微镜组成:

  • 配有相机的光学显微镜(低亮度)

  • 装有电动样品支架的真空室

  • 双层真空泵及附件

  • 带电缆电子枪

  • 电源控制器及控制软件


阴极射线显微镜特点:

  • 等离子体稳定控制

  • 自动击发

  • 半定量测量

  • 分光计定量测量

  • 极限空间分辨率<1um

  • 可选项:加热and/or冷却


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