首页  产品信息 位移台/偏转镜/隔振台 精密定位平台/扫描台 高精度微型六维位移台

精密定位平台/扫描台

显微镜载物台(电动/压电)亚纳米/纳米平移台(压电直推型,0-1500μm行程)纳米平移台(压电马达型,10-1500mm行程)高精度微型六维位移台低温位移平台超高真空位移平台非磁位移平台大行程二维电控载物台超小型平移台(亚微米,15mm,已集成电路)超低振动亚微米平移台(气体轴承,1500mm,10-1000KG)压电旋转平台高精度压电马达角位移台(偏摆台)高精度压电马达夹爪快速反射镜皮米精度位移测量仪 显示全部
dow.png

高精度微型六维位移台

  • 产品图片
  • 微信好友

  • QQ好友

  • QQ空间

  • 新浪微博

高精度微型可定制六轴平移台

所属类别:位移台/偏转镜/隔振台 » 精密定位平台/扫描台

所属品牌:

产品负责人:

姓名:李工(William)

电话:156 1809 2363(微信同号)

邮箱:wentao-li@auniontech.com


  • 产品详情
  • 数据单及文献下载
  • 猜你喜欢
  • 询问表格
  • 联系方式

    产品负责人:

    姓名:李工(William)

    电话:156 1809 2363(微信同号)

    邮箱: wentao-li@auniontech.com

    微信二维码

高精度微型六足平移台


昊量光电设备有限公司推出的六足位移平台是基于线性平台模组开发的六维运动控制系统。该平台可提供六个自由度控制(XYZ和绕三个轴的旋转)。与常规的六足平台相比该平台,该平台体积更紧凑,拥有较高的刚度和较低的运动质量,并且客户可以自定义虚拟运动轴点。

由于平台均采用模块化设计,因此其运动尺寸和作用力可以根据需求的不同做定制,行程可从几厘米到一米,分辨率可达到纳米量级。

产品拥有以下特点:

1)拥有六个自由度

平台是一个并联运动纳米操作系统,不同于常规的堆叠设计,该平台由多个线性平台同时运动驱动。定位器的平行设置优化了整个系统的刚度,并允许控制所有六个自由度(X,Y,Z,俯仰,偏航和旋转)

2)用户可自定义轴心点

可自由设置轴心点,可绕空间任意一点旋转

3)多选项

高&超高真空兼容

非磁材料

抗紫外线材料

4)高分辨率和重复精度

无反向空回的机械设计使该系统与线性平台有相同的量级的性能,分辨率可达到1nm和1μrad,X,Y,Z的双向可重复性可达到200nm,旋转重复精度可达10μrad,对于小行程重复精度会更高。

上海昊量提供的六维调节架主要包含以下几款产品。

Positioner Series

70.42

115.25

110.45

225.75

P-SLC-17

P-SLC-24

P-SLL

Wafer-2000

Picture

Travel

 (mm)

X

10

11

20

41

48

79 to 119

20 to 1200

200

Y

10

11

20

41

28 to 48

45 to 119

45 to 119

200

Z

5

5

11

21

9

12

16

10

Rotation(°)

Qx

14

18

21

20

28

31

42

6

Qy

16

20

24

23

26

27

33

7

Qz

28

37

38

41

20

42

42

24

repeatability forfull travel range

nm

<±200

<±200

<±200

<±200

<±200

<±200

<±200

<±200

μrad

<±10

<±10

<±10

<±10

<±10

<±10

<±10

<±10

max. vertical load [N]

5

5

5

10

5

10

10

20

max. horizontal load [N]

2.5

2.5

2.5

5

2.5

5

5

\

dimension [mm2]

F70

F115

F110

F225

110´50

110´90

250´80

420´430















数据单下载

展示全部 dow.png

询问表格

* 号为必填内容
  • *
  • *
  • *
  • *
  • 百度
    360搜索
    必应
    谷歌

产品标签:六轴位移平台,六足平移台,六维平移台,微型六轴位移台,高精度六足平移台