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检索词条 —— 多功能集成光学芯片
中文:
多功能集成光学芯片
;英文:multi-function integrated optical chip / MIOC
采用微纳加工技术在同一基片的同一平面将各类无源、有源光器件(如半导体激光器、光电二极管、半导体光放大器等)集成到一个芯片上的一种光学器件。它具有激光的产生、传输、分光与合光、开关、放大、接收等功能。制作它的材料非常广泛,如二氧化硅 (SiO2)、铌酸锂(LiNbO3)、III-V族半导体化合物(如InP,GaAs等)、绝缘体上的硅(silicon-on-insulator,SOI/ SIMOX)、氮氧化硅(SiON)、高分子聚合物(polymer)等。
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