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产品信息

连续镜面 可变形镜

所属类别: » 调制器 » 可变形反射镜/自适应光学系统
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产品简介


高品质、大冲程、低磁滞、MEMS波前校正变形镜!

 

关键词:变形镜,DMDeformable MirrorMEMS,变形反射镜,波前像差,自适应,自适应光学,自适应光学系统,天文,天文台,MEMS技术,波前,波士顿,Imagin,微变形反射镜

 

变形镜,又称变形反射镜(DM),主要运用于各种自适应光学系统之中,主要用于校正波前畸变,它由很多驱动单元组合而成,每个驱动单元都有自己独立的控制器,在外加电压控制下,变形镜的镜面可以产生需要的形变量,从而对波前像差进行调制。变形镜在自适应光学系统中起着极其重要的作用,是自适应光学系统中的重要部件之一。DM的指标参数关系到整个自适应光学系统的校正能力和校正精度。微变形反射镜式可以根据波前调制的需要改变表面面形,从而纠正波前相位畸变,根据反射面的不同变形镜可分为连续表面型和分立表面两种类型。

我们是从法国Joseph Fourier 大学独立出来的,主要研发电磁场驱动的MEMS变形镜(Deformable Mirror),具备非常高的研发实力,可以根据客户的不同应用需求定制个性化的变形镜。目前变形镜的主要应用领域涵盖了:天文领域、眼底成像、显微成像、自由空间光通信自适应光学、激光波前校正、天文望远镜、天文观测,天文自适应,大气湍流校正,激光自适应,虹膜定位、波前像差校正,眼科成像、显微成像自适应、球差校正、自由空间光通信等。

目前我们可以生产高达820个驱动数目的变形镜DM波前调制量可达80 µm,表面质量<7 nm RMS,采用目前世界上最先进的抛光工艺,表面粗糙度<1 nm,变形镜的响应时间只有500 us,带宽可以达到20 KHzMEMS变形镜可以帮助用户实现快速和精准的波前校正。

MEMS变形镜结构紧凑、相较于波士顿、Imagine等其他的微变形反射镜具有波前调制量大低磁滞性< 1%,高线性度> 97%。相比于MEMS 静电变形镜来说,电磁驱动变形镜相较于压电变形镜的优点在于其巨大的变形量,更高的调制精度。

 

MEMS变形镜主要特点技术优势

 

Ø 80 um 波前调制量

Ø 5 um 相邻驱动调制量(可用于修正低级次大像差波前)

Ø < 7 nm RMS 表面质量

Ø MEMS 电磁驱动

Ø ± 1% 高稳定性

Ø 400 us 高响应速度

Ø < 3%  高线性度

Ø < 2% 低磁滞性

Ø R> 97% 高质量镀膜

 

 

图一 相邻驱动调制图

 

图二 变形镜高表面质量

 

图三 电磁驱动模型

 

图四 高阶泽尼克多项式修正

 

5 高调制稳定性(±1% over 30s

 

 

7 高质量镀膜

 

MEMS变形镜产品型号及参数

 

MEMS变形镜控制器

MEMS 可变形镜配套低压14-bit控制器

 

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