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形貌测量仪

3D形貌、粗糙度测量仪 显示全部
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3D形貌、粗糙度测量仪

可测量各种材料样品表面粗超度,表面形貌,3D形状,3D显微,透明样品厚度!纳米级分辨率!

所属类别:光学检测设备 » 形貌测量仪

所属品牌:

负责人姓名:吴工(Arrow)

电话:137 6157 0395 邮箱:jinlong-wu@auniontech.com


3D形貌、粗糙度测量仪


随着加工设备不断进步,各种表面形貌测量的新的需求不断涌现,传统非接触式光学表面形貌测量设备的主要限制之一,其焦深(Z轴测量范围)不足的问题逐渐凸显。传统非接触式光学表面形貌测量设备的Z轴测量范围一般在几十微米的量级,再大的Z轴测量范围只能通过价格昂贵的高精度Z轴扫描平台或自动聚焦装置来实现。

 

MicroMesure2表面形貌测量仪采用先进的光谱共焦技术一种高速,高精度表面形貌测量仪。它无需进行Z轴扫描,即可高精度的得到样品的高精度,大范围Z轴高度信息。只需通过载物台的XY方向扫描(线阵探测器只需进行Z轴扫描)即可获得整个样品精确的3D形貌数据。

 

 

 

光谱共焦技术的基本原理如下图,整个系统由光源、透镜组、光谱仪等组成。光源发出的多色光(呈白光)通过探头中一系列的特殊设计的色散透镜组后,就会产生光谱色散,再经过一系列的光学反射后,便形成不同波长的单色光。然后在光轴的一定范围内聚焦.并且形成一个连续的焦点组,由传感器接收到每个焦点的反射信号,从而确定每个单色光波长对应的相应位置。还可以在高灵敏感光片上成像,通过光谱仪读出单色波的波长,然后将其换算成为对应的距离值,通过控制箱中的光电组件识别并最终得到样品的轴向位置。

 


光谱共焦技术的一个重要优势在于这种技术可以提供非常大的光学焦深(可达几个毫米)。对焦深范围内任意高度的样品均可瞬间测出其高度或者深度。这种技术集合了颜色编码技术和传统共聚焦显微镜的优点,成为新一代形貌及粗糙度测量的利器!

 

产品特点:

可测量各种材料,包括金属、玻璃、半导体材料、陶瓷等

非接触三维测量

高反射样品斜坡形状测量

对环境光不敏感

可同时测量透明样品的厚度

超宽的测量范围(20um~24mm)

大数值孔径,从而允许更高质量的成像

 

 

 

 

 


光学加工 (粗糙度测量, 表面形貌测量,面型测量,3D形状测量)

钟表制造 (表面平整度测量,粗超度测量, 厚度测量)

l  核燃料工业 (粗糙度测量,摩擦研究,3D形状测量,腐蚀测量)

航空航天 (粗糙度测量, 涡轮机形状测量)

 

指标参数:

MicroMesure2表面形貌测量仪的光学传感器有多种不同精度,测量范围可选。此外还有单点传感器,多点传感器及线阵传感器可选。配置一般根据客户的需求来具体配置,欢迎来电昊量光电进行咨询。

 


纵向分辨率

测量范围

产品

亚纳米测量

0.3nm

最大135um

共焦光谱干涉系列

纳米测量

5~300nm

100um~4mm

色散共焦成像系列

微米测量

0.3um及以上

4mm~42mm

色散共焦成像系列

 


测量速率

型号

超高速

up to 1800 线/秒(324,000/秒)

MPLS180MPLS-DM

标准速率

up to 10,000H 

CCS Optia+

u to 2000Hz

CCS OptimaSTIL DU 

up to 1000z

CHR-150LSTIL-VIZERNIR

 


线阵传感器

单点传感器

输出速率

up to 324,000/

up to 10,000/

扫描方式

只需一维扫描

二维扫描

点间距

线内各点间距不可调,线间间距可调

线内,线间各点间距均可调

测量模式

位置(距离)

位置(距离),厚度

纵向分辨率

标准

CCS探测器:Very high

DUO探测器::Extra Hih

 

 

软件功能:

 

Fonctions principales

Type of acquisition

Profile scanning (x, y, oblique)

Surface scanning

Point series acquisition

Repetitive measurements

Multi acquisition sequence

Video image (if camera option)

Scanning parameters setting

Dimensions

Step along each axis

Sensor parameters setting

Altitude Mode

Thickness mode

Optical pen choice

Averaging

Double frequency (if available)

Scanning type

Constant speed (with backlash compensation)

Step by step

Z following

Data saving

Folder selection

Format selection (binary, csv)

User's supervision

Measurement progress

X, Y & Z coordinates

Sensor status

Automatic procedures

Hardware homing

Leveling

Autofocus

Recentering

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产品标签:粗糙度仪,表面形貌测量仪,形貌仪,非接触式表面测量,金属表面形貌测量,3D表面测量,共焦光谱传感器,粗糙表面形貌测量,工业用共聚焦显微镜,共聚焦三维测量,共聚焦表面形貌测量

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