阴极发光仪/阴极发光显微镜
昊量光电新推出用于微电子、半导体、绝缘材料、地质学和矿物学材料测量的法国NewTec阴极射线显微镜。阴极发光是一种光谱方法，它可以在局部尺度上识别缺陷和杂质，这些缺陷和杂质与被电子枪轰击的材料的发光特性有关。
阴极射线显微镜组成：
配有相机的光学显微镜(低亮度)
装有电动样品支架的真空室
双层真空泵及附件
带电缆电子枪
电源控制器及控制软件
阴极射线显微镜特点：
等离子体稳定控制
自动击发
半定量测量
分光计定量测量
极限空间分辨率<1um
可选项：加热and/or冷却
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